碳化硅陶瓷超声辅助飞秒激光烧蚀机理与工艺研究

林颖亮; 陈晓晓; 马晨斌; 李奇; 张文武

doi:10.3969/j.issn.1004-132X.2026.08.022

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碳化硅陶瓷超声辅助飞秒激光烧蚀机理与工艺研究

先进材料加工工程 | 更新时间：2026-11-05

- 碳化硅陶瓷超声辅助飞秒激光烧蚀机理与工艺研究
- Study on Ultrasonic-assisted Femtosecond Laser Ablation Mechanism and Process of Silicon Carbide Ceramics
- 中国机械工程 2026年37卷第8期页码：2029-2037
- 作者机构：
  
  1.宁波大学机械工程与力学学院,宁波,315211
  2.中国科学院宁波材料技术与工程研究所,宁波,315201
  3.中国科学院大学,北京,100049
  4.浙江工业大学机械工程学院,杭州,310023
- 作者简介：
  
  林颖亮，男，2000年生，硕士研究生。研究方向为硬脆难加工材料激光加工。
  陈晓晓*，男，1986年生，研究员、博士研究生导师。研究方向为高效精密智能化激光加工技术与装备、多能量场复合制造理论、工艺及系统等。E-mail：chenxiaoxiao@nimte.ac.cn。
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(52375472;52350710794);宁波市自然科学基金重点项目(2022J291);宁波市重点研发计划(2023Z039);宁波市青年科技创新领军人才项目(2025QL061)
- DOI：10.3969/j.issn.1004-132X.2026.08.022
  中图分类号： TN249
- 收稿：2025-08-26，
  
  纸质出版：2026-08-25
- 稿件说明：
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林颖亮，陈晓晓，马晨斌，等.碳化硅陶瓷超声辅助飞秒激光烧蚀机理与工艺研究［J］.中国机械工程，2026，37（8）：2029-2037.LIN Yingliang，CHEN Xiaoxiao，MA Chenbin，et al.Study on Ultrasonic-assisted Femtosecond Laser Ablation Mechanism and Process of Silicon Carbide Ceramics［J］.China Mechanical Engineering，2026，37（8）：2029-2037.

LIN Yingliang,CHEN Xiaoxiao,MA Chenbin,et al.Study on Ultrasonic-assisted Femtosecond Laser Ablation Mechanism and Process of Silicon Carbide Ceramics[J].China Mechanical Engineering,2026,37(8):2029-2037.
林颖亮，陈晓晓，马晨斌，等.碳化硅陶瓷超声辅助飞秒激光烧蚀机理与工艺研究［J］.中国机械工程，2026，37（8）：2029-2037.LIN Yingliang，CHEN Xiaoxiao，MA Chenbin，et al.Study on Ultrasonic-assisted Femtosecond Laser Ablation Mechanism and Process of Silicon Carbide Ceramics［J］.China Mechanical Engineering，2026，37（8）：2029-2037. DOI： 10.3969/j.issn.1004-132X.2026.08.022.

LIN Yingliang,CHEN Xiaoxiao,MA Chenbin,et al.Study on Ultrasonic-assisted Femtosecond Laser Ablation Mechanism and Process of Silicon Carbide Ceramics[J].China Mechanical Engineering,2026,37(8):2029-2037. DOI： 10.3969/j.issn.1004-132X.2026.08.022.

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DOI：10.3969/j.issn.1004-132X.2026.08.022